シリコンウェハ雰囲気試験炉ローラは、ローラ炉を保護します

シリコンウェハ雰囲気試験炉ローラは、ローラ炉を保護します

機器のアプリケーション:主に酸化し、ダストフリーの生産実験用シリコンウエハ(156x156x0.2mm)を生成

プロダクト 詳細

説明これのシリコンウェハ雰囲気試験炉ローラは、ローラ炉を保護します
 
1.equipment名:シリコンウエハー雰囲気保護実験ローラー炉
2.equipmentアプリケーション:主に酸化及びダストフリー製造実験用シリコンウェーハ(156x156x0.2mm)を生成
 
パラメーターこれのシリコンウェハ雰囲気試験炉ローラは、ローラ炉を保護します
 
3.1炉サイズ:1380×500×100(H×W×L)mmの
3.2全体的なサイズ:1980×1500×1100(H×W×L)mmの
3.3定格温度:1300℃
3.4動作温度:1000℃
3.5温度制御精度:≤±2℃
炉内で3.6の温度差:≤±5℃
炉外気温3.7:≤±40℃
温度制御群の3.8番号:3つの温度ゾーン3つの温度制御テーブル
3.9作業速度:5分に応じて全体の窯を計算し、400ミリメートル/分
3.10速度調整範囲:120〜700ミリメートル/分
3.11加熱方法:電気加熱炉設備の上部
加熱素子:シリコンカーボンロッド、上部取付
3.13加熱電力:36キロワット
3.14絶縁電力:25キロワット
加熱長さ:1080ミリメートル
炉ライニング材料:コランダム材料は、装置全体の炉内で、炉室として採用されています
3.17断熱材:光断熱レンガと繊維綿
3.18絶縁レベル:ボトム330ミリメートル、両側の350ミリメートル、及びトップ400ミリメートル
3.19制御キャビネット:独立した自動制御
3.20設備の構造:1つのセクション
3.21冷房モード:自然冷却
3.22伝送モード:45°かさ歯車伝動
3.23速度制御:無段階の周波数変換制御
3.24吸気カテゴリ:窒素と酸素
 
ピクチャーこれのシリコンウェハ雰囲気試験炉ローラは、ローラ炉を保護します
 
Roller furnace silicon wafer atmosphere test protects roller furnace
シリコンウェハ雰囲気試験炉ローラは、ローラ炉を保護します

 

シリコンウェハ雰囲気試験炉ローラは、ローラ炉を保護します

 

 

 

 

 

タグ

あなたのメッセージを残します:

今すぐお問い合わせを送信

関連製品

今すぐお問い合わせを送信